贵研铂业等“一种含有纳米析出相的超细晶银铜合金及其制备 *** 和应用”专利获授权
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天眼查APP显示,近日,云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司,贵研先进新材料(上海)有限公司,云南贵金属实验室有限公司,昆明贵金属研究所申请的“一种含有纳米析出相的超细晶银铜合金及其制备 *** 和应用”专利获授权。摘要显示,本发明涉及贵金属溅射靶材技术领域,提供了一种含有纳米析出相的超细晶银铜合金及其制备 *** 和应用。本发明提供的超细晶银铜合金包括铜0.1~3wt%和余量的Ag,其相组成包括富银基体相和分散在所述富银基体相中的富铜纳米析出相,富银基体相的平均晶粒尺寸为100~1000nm,富铜纳米析出相的平均晶粒尺寸为10~50nm。本发明采用微合金化 *** ,结合大变形塑性加工及较低的退火温度,制备得到性能优异,晶粒尺寸为亚微米级的超细晶银铜合金,将本发明的银铜合金作为靶材使用,有利于提高溅射速率,获得厚度均匀的银铜合金薄膜。